截至2021年12月31日，公司共獲得專利授權217項，其中發明專利162項（其中中國大陸地區發明專利145項，中國臺灣地區發明專利15項，美國發明專利2項），實用新型專利33項，外觀設計專利22項；擁有軟件著作權54項。并先后主持制定了噴膠機、涂膠機兩項行業標準，其中噴膠機行業標準《噴霧式涂覆設備通用規范》（SJ/T 11576-2016）已正式頒布實施，涂膠機行業標準《旋轉式涂覆設備通用規范》正在審核中。芯源技術及產品榮獲國家戰略性創新產品、國家重點新產品、中國半導體創新產品和技術獎及省、市科技進步獎等多項獎勵。